白光共焦位移計

白光共軛焦位移計(感測器):非接觸位移量測


Micro-Epsilon的彩色共焦DT系統適用於快速距離、厚度測量、形狀分析等。 不同的感測器型號及控制器接口可搭配出各領域中各種用途及應用,例如Air Gap 、真空環境、多層測厚、Wafer平整度量測、晶圓彎曲翹曲測量、曲面、階高等;常被用於半導體行業、玻璃行業、醫療工程、塑料、薄膜生產領域等量測。被測物幾乎不受表面限制,也適用於塗層、鏡面和玻璃表面。

 

產品特

>具有高解析度和測量速率的距離和厚度測量
>自動化和生產控制的理想選擇
>幾乎與表面無關,也適用於鏡面和玻璃表面

 >極小且恆定的光斑尺寸
 >奈米解析度
 >工業級控制器,具有理想的信噪比
 >可在真空艙運作
 

 

 
  頻率響應 光源
confocalDT IFC2421 / 22
通用型共焦控制器,帶有一個和兩個通道
6.5kHz 內建白色LED
confocalDT IFC2451
帶集成光源的控制器,測量速率高達10kHz
10 kHz 內建白色LED
confocalDT IFC2461
帶集成光源的控制器,測量速率高達25kHz
25kHz 內建白色LED
confocalDT IFC2471HS
帶集成光源的控制器,測量速率高達70kHz
70kHz 內建白色LED




幾乎可在所有類型的表面上進行高精度位移和距離測量

共軛焦顯微鏡
共焦色度測量原理可實現高精度位移和距離測量 - 包括漫反射和反射表面。 由於測量點尺寸小,可以檢測到非常小的物體。 軸向光束路徑避免了陰影效應,即使在套管和凹槽中也能進行測量。 對於90°版本,可以在孔和凹槽內測量幾何特徵。帶寬100 kHz(-3dB))

 

 

                           
透明材料的單面厚度測量

  • 共焦色度測量原理可以測量透明材料(如玻璃)的厚度。 僅使用單個傳感器檢測厚度值至微米精度。 控制器提供可編輯的可擴展材料數據庫。 可以使用網絡界面調整材料特定參數,例如折射率。
  • 峰測量可以評估多達6個峰,這就是如何測量夾層玻璃等多層物體的方法。
 

 

                             
3D雷射共焦輪廓儀具有高解析度和高速度

3D Laser confocal profile / White light confocal
confocalDT控制器提供出色的信噪比,可實現高精度測量。 它們是全球最快的控制器之一,經常用於動態監控任務。 快速表面補償調節曝光週期以實現高信號穩定性,這在測量具有不同反射特性的表面時特別有利。 接口是RS422,以太網或EtherCAT


 

易於通過Web界面使用

由於用戶友好的Web界面,整個配置過程無需使用任何其他軟件即可執行。 可以通過以太網訪問Web界面,並提供設置和配置選項。 材料存儲在可擴展材料數據庫中。
 
 


 

  


應用範例
 

​​​
醫療平板郵票和模具的質量控制 測量牙齒樣本共聚焦
用於催化劑生產的不銹鋼管 自動輪廓和零件測量

 

 

 

 

 

  

相關文章

Sensors for any circumstance (PDF, 1.98 MB) Sensors in medical technology (PDF, 449 KB)
Spectra-cular Measurements

 

下載總覽

Catalog confocalDT (PDF, 7.17 MB)

Nano-Trend